在精密制造、半导体、MEMS等高端领域，微观表面三维形貌直接决定产品性能，微小偏差可能导致设备故障、产品报废。白光干涉（WLI）非接触3D表面测量技术是核心检测手段，而物镜作为测量系统的核心部件，其光学性能与结构设计直接决定测量精度、效率及适用场景。
2026年初，日本三丰发布WLI Plan Apo系列白光干涉物镜，搭配WLI-Unit 554-001/002/003测头，专为WLI非接触3D测量量身打造，填补小型轻量化高端物镜市场空白。该新品以小型轻量化为核心突破，兼顾高精度与多场景适配性。作为日本三丰精密测量仪官方授权一级代理商，巴斯德仪器精准捕捉工业用户对长工作距离、小型轻量化的核心需求，全力推荐该系列物镜，其技术优势可满足高端制造领域对测量精度与效率的严苛要求。
该系列打破传统物镜“高精度必笨重”“长工作距离必牺牲小巧性”的困境，在确保长工作距离的同时实现小型轻量化，齐焦距离稳定达60mm，可满足复杂工件深度测量需求，且便于安装调试，适配三丰各类WLI测量设备，解决传统物镜操作不便、适配性差的问题。
WLI Plan Apo系列核心技术亮点突出，除小型轻量化与长工作距离优势外，还具备高NA（数值孔径）、高分辨力，搭配平场复消色差（Plan Apo）规格，标配干涉条纹调整装置。其中平场复消色差技术可有效校正色差与场曲，确保视场成像清晰精准，从根源减少测量误差，适配半导体、精密光学等高端检测场景。
标配的干涉条纹调整装置可快速校准条纹状态，优化干涉信号稳定性，无需繁琐参数调试即可获得精准数据，提升测量效率。同时，其搭载超高精度光学配置，配合Z向纳米级分辨率，即使在1×低倍率下，也能实现Z轴超高精度测量，兼顾测量范围与精度。
核心规格上，该系列成像倍率1×、焦距100mm，小型轻量化设计可减少震动干扰，提升数据稳定性。内部一体化内置分光器与参考镜，减少光路干扰与光线损耗；多层专业镀膜提升干涉信号对比度，可同时适配不同反射特性样品，无需频繁换物镜或调参数，提升批量测量效率。
该系列可与三丰WLI测量系统、Quick Vision WLI复合机无缝兼容，支持物镜扫描驱动，无需改造现有设备即可融入检测流程，降低企业升级成本。非接触测量方式可彻底避免样品损伤，尤其适用于半导体晶圆、精密光学零件等脆弱高端样品检测。
其抗环境振动稳定性极强，通过结构优化与刚性强化，可在常规车间轻微振动环境下保持稳定精度，无需搭建恒温防震车间，降低企业使用成本，与巴斯德仪器“提供经济高效测量解决方案”的理念高度契合。
巴斯德仪器作为三丰官方一级代理商，凭借专业技术团队与完善解决方案，以用户需求为核心推荐适配设备。此次推荐的WLI Plan Apo系列，精准匹配高端制造测量痛点，可帮助企业提升检测效率、保障产品质量。
该系列广泛应用于多高端领域：半导体领域可检测晶圆表面缺陷与台阶高度；MEMS器件检测中可精准捕捉三维形貌，避免结构损伤；精密模具型腔检测中可适配复杂结构，提升模具精度；同时可用于3D粗糙度、精密光学零件检测，一站式满足多场景需求。
相较于传统物镜，该系列打破“精度、便捷性、适配性”不可兼得的困境，巴斯德仪器的专业推荐与技术支持，助力其快速服务于更多制造企业，为高端制造高质量发展赋能。
在精密测量技术快速发展的背景下，三丰WLI Plan Apo系列以“距离微观真相最近的测量窗口”为定位，凭借核心技术优势成为2026年精密测量领域亮点，为高端制造企业提供优质、高效、可靠的微观表面测量解决方案。
针对企业微观测量痛点，巴斯德仪器作为专业一级代理商，可根据用户长工作距离、小型轻量化等具体需求，提供定制化推荐与全方位技术支持，助力企业提升产品竞争力。