全测量范围(5μm-2mm)内线性度为±0.3μm的高精度。
*1: 透明工件的测量范围设定在0.05mm-2mm。如果测量工件小于0.05mm时,请联系所在地三丰公司办事处。边缘测量
在1-255之间或自动测量功能开启时,测量范围将设定在0.05mm-2mm。如果选用双通道扩展装置,LSM-6200测量
范围是0.05mm-2mm。
*2: 当以0.32秒的测量时间(平均1024次测量)测量ø2mm时,±2σ的值(σ:标准偏差)。
*3: 在测量区域中心。(根据我公司指的检查方法)
*4: 测量物移动(光轴方向或扫描方向)引起的误差(外径)。
*5: 给定区域: [光轴方向]×[扫描方向]。
*6: 如果水或灰尘附着在工件或测量部分的窗口玻璃上,则可能会发生故障。
注1: 使用LSM-6200选件的双通道扩展装置时,测量范围为0.05 ~ 2mm。
注2: 当使用超细线测量功能(FINE),无法设置同时测量,双重测量,边缘指定,自动工件检测,组判断和奇数刀片测量。
●多功能操作显示部 LSM-6200 : No.544-071DC
●嵌入式操作显示部 LSM-5200 : No.544-047
●标准校准规套装 (ø0.1, ø10.0) : No.02AGD120
●电线导向滑轮: No.02AGD210
●可调工作台: No.02AGD400
●空气罩: No.02AGD230
●工作台: No.02AGD270
●信号延长电缆(最长15m)
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